Bộ cung cấp nguồn AC
SURFCOM 1400G-LCD Accretech Surface Texture Measurement – Thiết bị đo kết cấu bề mặt
 |
Đây là dụng cụ đo kết cấu bề mặt thích hợp để đánh giá độ gợn sóng, độ nhám bề mặt và độ chênh lệch mức của các phôi mỏng có diện tích bề mặt lớn như nền thủy tinh, mâm cặp điện tĩnh hoặc tấm wafer. |
Xem thêm các sản phẩm khác của Accretech tại đây!
Đặc trưng
Thiết bị đo kết cấu bề mặt này tự hào có thành tích sử dụng nhiều lần với phép đo nền thủy tinh và phép đo mâm cặp điện tĩnh
|
SURFCOM 1400G-LCD có thể đo các phôi mỏng có diện tích bề mặt lớn trên phạm vi rộng. Không giống như các thiết bị đo kết cấu bề mặt thông thường trong đó mặt lấy mẫu di chuyển theo hướng trục X, mặt bàn (trình điều khiển theo dõi phôi di động) mà phôi được tải sẽ di chuyển theo hướng trục X để đo. Thiết bị hỗ trợ cả phạm vi truyền động rộng hơn 300 mm và độ chính xác độ thẳng trục X cao, đồng thời cung cấp kết quả đo độ gợn sóng, độ nhám bề mặt, chênh lệch mức, v.v. của phôi. Ngoài ra, vì phần giữ lấy mẫu có thể di chuyển theo hướng trục Y nên có thể dễ dàng tiếp cận nhiều vị trí trên phôi và có thể đánh giá độ gợn sóng và độ nhám theo nhiều đường.
Phạm vi đo 300 mm × 250 mm loại
Phạm vi đo 500 mm × 500 mm loại
Phạm vi đo 650 mm × 650 mm loại
|
 |
Có thể tùy chỉnh để phù hợp với nhiều nhu cầu khác nhau
Accretech cung cấp nhiều tùy chỉnh khác nhau, bao gồm tấm tải phù hợp với phôi, bộ truyền động cơ trục Y, bộ xác nhận vị trí đo để đo chính xác các chi tiết nhỏ như dập nổi bằng đầu kẹp tĩnh điện và chức năng tự động thử lại, tự động đo lại cho đến khi đo được đường kính của phần dập nổi trong khi tinh chỉnh đường đo theo hướng trục Y.
