Bộ cung cấp nguồn ACEC5200 Kosaka Laboratory Roundness and Cylindricity Measuring Instrument – Thiết bị đo độ tròn
 |
EC5200 là model phù hợp cho phôi có tải trọng lớn. Loại tiết kiệm không gian có gắn bàn tự động định tâm, nghiêng, phẳng. 30 % cut the installation layout
|
Xem thêm các sản phẩm khác của Kosaka Laboratory khác tại đây!
Thông số kỹ thuật
|
回転部 Rotary |
回転軸受機構・方式 | Rotating method | 多孔質静圧空気軸受・検出器回転式 | Unique porous static air bearing system・rotary pick-up |
| 回転精度 半径方向 | Rotational accuracy（θ） | 0.05 µm（JIS B 7451） | ||
| 回転精度 軸方向 | Rotational accuracy（R） | 0.15 µm（回転中心からの50 mm 位置） | 0.15 µm（At 50 mm from the rotation center） | |
| 回転速度 | Rotational speed | 1～10 rpm 可変（エンドレスで手動回転可能） | 1～10 rpm（Variable） | |
|
テーブル部 Table |
テーブルの大きさ | Table size | 600 mm × 500 mm | |
| テーブル移動範囲 | Table movement range | X：±300 mm, Y：±70 mm | ||
| 機械的心出し調整範囲 | Centering range | ±70 mm（max） | ||
| 機械的傾斜調整範囲 | Tilting range | ±6 mm／340 mm（±1°） | ||
| 移動速度 | Moving speed | X：max 30 mm／sec, Y：max 20 mm／sec | ||
|
上下動部 Column |
真直度測定精度 | Straightness | 0.6 µm／任意の200 mm（5.0 µm／1000 mm） | 0.6 µm／any 200 mm（5.0 µm／1000 mm） |
| 回転軸線と上下動の平行度 | Parallelism between column and rotation center | 0.8 µm ／100 mm | ||
| 上下移動量 | Traverse range | 1000 mm | ||
| 測定速度 | Measuring speed | 0.5～5 mm／sec | ||
| 移動速度 | Moving speed | max 50 mm／sec | ||
| 半径方向部
Radial |
移動量 | Traverse range | 275 mm | |
| 移動速度 | Moving speed | max 30 mm／sec | ||
| 検出器
Pick-up |
測定力 | Measuring force | 100 mN（10 gf）以内可変 | Within 100 mN（10 gf）changeable |
| 可動範囲 | Range | 1800 µm（bスタイラスアーム使用時） | 1800 µm（at using b-type stylus arm） | |
Tải xuống: Kosaka Laboratory Catalog
