CS-8000 Series Iwatsu Semiconductor Curve Tracer – Máy kiểm tra đặc tính linh kiện bán dẫn

Máy kiểm tra đặc tính linh kiện bán dẫn CS-8000 Series

Với nhiều cách kết hợp đơn vị khác nhau, nó hỗ trợ phép đo bán dẫn thế hệ tiếp theo và lý tưởng để mô tả đặc tính trong tất cả các quy trình.

• Kiểm tra công suất cao lên tới 5kV, lên tới 2000A
• Đo dòng điện vi mô chính xác (độ phân giải 250fA)
• Màn hình cảm ứng lớn 12,1 inch
• Các chức năng đầu ra tín hiệu GATE khác nhau
• Tùy chọn đo đặc tính nhiệt độ mở rộng
• Thử nghiệm trên wafer công suất cao với máy dò

Thông số chung Điện áp cổng　: ±40 V Dải điện áp: 0,2 ～ 5 kV Dòng đo tối đa　: 2 kA Độ phân giải đo hiện tại　: 250 fA

Ưu điểm trong quá trình đo thực tế Tương thích với các thiết bị SiC và GaN Hỗ trợ tấm wafer và các thiết bị năng lượng thấp Các thiết bị công suất cao cũng được hỗ trợ Hỗ trợ đo dòng điện vi mô

Giao diện người dùng dễ sử dụng

Được trang bị màn hình lớn và độ phân giải cao 12,1 inch TFT-LCD (1280×800), nó có thể được vận hành bằng màn hình cảm ứng, các phím chức năng ở mặt trước và các nút bấm độc lập cho từng chức năng.

① Vùng hiển thị X-Y

Bất kỳ tham số điện áp/dòng điện nào cũng có thể được đặt tương ứng trên trục X và trục Y, đồng thời có thể hiển thị các đường cong đặc tính bán dẫn khác nhau như đặc tính Vds Id, điện áp ngưỡng và đặc tính bão hòa Vds-Vss. Ngoài ra, bạn có thể đặt nhiều tham số trên trục Y. Tỷ lệ có thể được chuyển đổi giữa Log và Linear.

② Khu vực hiển thị Y-T

Dạng sóng áp dụng đo được hiển thị trên trục thời gian giống như máy hiện sóng. Vì các bất thường về dạng sóng như độ rộng xung, điểm đo và dao động có thể được kiểm tra trong thời gian thực nên rất dễ xác minh xem các phép đo có được thực hiện chính xác hay không. Vì tất cả dữ liệu dạng sóng được áp dụng có thể được lưu cùng lúc với dữ liệu được hiển thị trên màn hình X-Y nên kết quả đo có thể được xác nhận lại.

③ Vùng hiển thị dữ liệu đo được

Kết quả đo chi tiết, điều kiện đo và trạng thái được hiển thị ở định dạng văn bản.

④ Khu vực cài đặt cấu hình

Đặt cấu hình đo lường của thiết bị. Hỗ trợ lựa chọn đơn vị điện áp/dòng điện, thay đổi hệ thống dây điện, v.v. trong màn hình đồ họa

⑤ Vùng cài đặt thông số

Khu vực này được sử dụng để đặt các thông số đo và giới hạn đo cũng như để chuyển đổi giữa các phép đo thủ công và tự động.

⑥ Bảng điều khiển

Mặt trước có các nút và núm xoay để đo thủ công dễ dàng. Trên bàn phím số nằm ở trung tâm, bạn có thể nhập giá trị số cho các thông số. Cống/Bộ thu, CỔNG/ĐẾ, Có thể dễ dàng thực hiện phép đo thủ công bằng các núm xoay trục dọc và trục ngang.

Nguồn đầu ra phù hợp với ứng dụng

Bạn có thể tùy ý chọn đơn vị điện áp và dòng điện cần thiết để đo tùy theo ứng dụng.

Hình bên phải cho thấy: Phần trên: Thiết bị kiểm tra Phần dưới: Đơn vị dòng điện cao

Đơn vị HV

Đây là đơn vị điện áp cao 2kV, 5kV. Có thể chọn sóng DC/xung. Bạn có thể chọn đo điện áp không đổi và dòng điện không đổi.

Main unit	CS-8200	CS-8500
Maximum voltage (Maximum current)	2 kV (20 mA)	5 kV (8 mA)
Waveform	DC, Pulse
Polarity	Positive/negative
Measurement current resolution	250 fA

Khối trung thế (chung cho tất cả các khối chính)

Đây là một đơn vị điện áp trung thế 200V. Bạn có thể chọn đo điện áp không đổi và dòng điện không đổi. Ngoài DC và xung, có thể chọn dạng sóng SIN, nửa sóng và toàn sóng.

Maximum voltage (Maximum current)	200 V(2 A)
Waveform	DC(200 mA), Pulse (2A), SIN, Half-wave, full-wave
Polarity	Positive/negative/both polarities
Measurement current resolution	250 fA

Khối GATE (chung cho tất cả các khối chính)

Đây là một đơn vị 40V. Bạn có thể chọn đo điện áp không đổi và dòng điện không đổi. Ngoài DC và xung, SIN có thể được chọn.

Maximum voltage (maximum current)	40 V(1 A)
Waveform	DC, pulse, SIN
Polarity	Positive/negative/both polarities
Measurement current resolution	250 fA

Đơn vị HC

Chế độ dòng điện cao hỗ trợ các phép đo dòng điện cao lên tới 2000A. Độ rộng xung, thời gian đo và phạm vi đo có thể thay đổi.

HC Unit	CS-205	CS-210	CS-220
Maximum current (Voltage)	500 A (50 V)	1 kA (50 V)	2 kA (50 V)
Waveform	Pulse
Pulse width	10μs~1ms	10μs~500μs
Polarity	Positive/negative

Độ phân giải hiện tại tối thiểu 250 fA

Bằng cách sử dụng ba trục và tối ưu hóa hệ thống đo lường, sự rò rỉ và tiếng ồn trong thiết bị sẽ giảm đi, do đó có thể đo được dòng điện vi mô một cách ổn định.

Đầu ra tín hiệu GATE khác nhau

Tín hiệu GATE có thể được sắp xếp và áp dụng. Giữ phạm vi biến thời gian 0,000[s] ～ 5,000[s] Dải điện áp tín hiệu sơ bộ Cổng -40[V]~+40[V]

Đo độ trễ

CS-8000 có các chức năng hữu ích để đo các chất bán dẫn có khe hở băng rộng như SiC và GaN có độ trễ. Chức năng quét kép hiển thị quét LÊN và quét XUỐNG cùng lúc, do đó có thể quan sát được hiện tượng trễ.

Cơ chế an toàn

Ngoài chức năng khóa liên động, nó còn được trang bị chức năng giới hạn đầu ra.

Bạn có thể đặt giới hạn điện áp, dòng điện và công suất để tránh làm hỏng DUT.

Ngoài ra, chức năng bảo vệ quá dòng của phần cứng sẽ tắt dòng điện khi nó chạy gấp 1,4 lần phạm vi đo.

Cấu hình kết hợp

Thiết bị HC và thiết bị cố định có thể được lựa chọn theo điện áp và dòng điện của mục tiêu đo.

Ví dụ về cấu hình Khi sử dụng với 2kV, 2.000A

• Đơn vị chính: CS-8200
• Đơn vị HC: CS-220
• Thiết bị kiểm tra: CS-8200
• Phụ kiện:
• Bộ cáp chuẩn HV: CS-021
• Bộ cáp tiêu chuẩn HC: CS-022

CS-8000 Series Main Specifications

Main unit model name		CS-8020	CS-8200	CS-8500
HV unit
Maximum peak voltage (maximum current)		–	2 kV(20 mA)	5 kV(8 mA)
Measurement voltage range (full scale)		–	2 kV ~ 50 V	5 kV ~ 50 V
Measurement current range		–	20 mA ~ 50 μA	20 mA ~ 50 μA
Minimum measurement current resolution		–	250 fA	250 fA
Waveform		–	DC pulse	DC pulse
MV unit
Maximum peak voltage (maximum current)		200 V(1 A)
Measurement voltage range (full scale)		200 V ~ 200 mV
Measurement current range		2 A ~ 5 nA
Minimum measurement current resolution		250 fA
Waveform		DC(200 mA),Pulse (2A), SIN, half wave, full wave
GATE unit
Maximum peak voltage (maximum current)		40 V(1 A)
Measurement voltage range (full scale)		50 V ~ 1 V
Measurement current range		1 A ~ 5 nA
Minimum measurement current resolution		250 fA
Waveform		DC pulseSIN (50 Hz)
Standard Accessories		Power cable, control interface terminator, instruction manual (booklet + CD)

HC unit model name	CS-205	CS-210	CS-220
Maximum peak current (maximum voltage)	500 A(50 V)	1,000 A(50 V)	2,000 A(50 V)
Measurement voltage range (full scale)	50 V ~ 200 mV	50 V ~ 200 mV	50 V ~ 200 mV
Measurement current range	500 A ~ 5 A	1,000 A ~ 5 A	2,000 A ~ 5 A
Waveform	Pulse (Width 10μs to 1ms)	Pulse (Width 10μs to 500μs)	Pulse (Width 10μs to 500μs)
Standard Accessories	Power cable, HC-FIXTURE connection unit, instruction manual

• Separate sense cables are required when using the HC unit.

Test fixture model name	CS-320MV (coming soon)	CS-322HV/HC
Standard Accessories	Power cable, standard lead set (CS-005 set of 7), instruction manual
	–	HV/HC cable (2 pcs)

• If you wish to connect the test fixture, you will need a separate cable.

Cable set (used when connecting to the test fixture or HC unit.)

Cable set name	Order number	Product name
CS-020 MV standard cable set (Recommended set for CS-320)	CS-026	7 x Triaxial cables (L = 1.0m)
	CS-027	1 x Control interface cable (L = 1.0m)
	CS-028	1 x Interlock/sense cable (L = 1.0m)
CS-021 HV standard cable set (Recommended set for CS-322)	CS-025	2 x HV cables (L = 1.0m)
	CS-026	7 x Triaxial cables (L = 1.0m)
	CS-027	1 x Control interface cable (L = 1.0m)
	CS-028	1 x Interlock/sense cable (L = 1.0m)
CS-022 HC standard cable set (Recommended set for HC unit)	CS-027	1 x Control interface cable (L = 1.0m)
	CS-028	1 x Interlock/sense cable (L = 1.0m)

Tự động hóa việc chuyển đổi từng chip và nhiều thiết bị, chẳng hạn như mô-đun 6 trong 1 (7 trong 1) và 2 trong 1.

Điều khiển từng bộ rơle bằng bộ đo tham số bán dẫn CS-810 (được cài đặt trên PC bên ngoài) để tự động hóa việc chuyển đổi kết nối của các thiết bị đầu cuối.

Bằng cách điều khiển bộ phận chính, bộ rơle, bình điều nhiệt và tấm nóng, CS-810 cũng có thể tự động đo các đặc tính nhiệt độ của từng chip của mô-đun 6 trong 1.

Bộ rơle có thể được kết nối song song. Có thể lên tới 10 đơn vị (100ch).

Mô-đun điều khiển chuyển mạch

Nó là bộ phận không thể thiếu, điều khiển chung từng bộ phận từ phần mềm đo thông số bán dẫn CS-810 bằng cách kết nối nó với PC bằng Ethernet.

Một đơn vị có thể kiểm soát lên đến 8 đơn vị. Bằng cách chỉ định một địa chỉ IP, cũng có thể hoạt động song song bằng cách sử dụng nhiều đơn vị (tối đa 10 đơn vị).

Relay

Extension unit

Kiểm tra đặc tính nhiệt độ

Bằng cách tự động điều khiển máy dò đường cong, hệ thống máy quét và tấm gia nhiệt từ phần mềm đo tham số bán dẫn CS-810, có thể giảm thời gian cần thiết để mô tả đặc tính nhiệt độ.

Tấm nóng/buồng nhiệt

Phụ kiện

Prober cable	Test fixture L

Semiconductor Parameter Measurement Software CS-810

Tự động đo lường và nâng cao hiệu quả!

Ưu điểm của adoption

• Thực hiện các phép đo chính xác và đáng tin cậy theo quy trình đo
• Nội dung đo cũng được lưu làm bằng chứng
• Tự động đánh giá cũng có thể
• Việc kiểm soát các sản phẩm tùy chọn cũng có thể được tự động hóa (ví dụ: kiểm soát nhiệt độ của tấm nóng)

So sánh thực tế

Một tùy chọn phần mềm mà bạn cài đặt trên PC để điều khiển máy dò đường cong, máy quét, bếp điện, v.v. thông qua Ethernet.

Thiết lập dễ dàng cải thiện hiệu quả công việc bằng cách tự động hóa các phép đo bằng thiết bị theo dõi đường cong mà trước đây chỉ cho phép đo thủ công.

Không cần kiến thức lập trình

Bằng cách tải các cài đặt của bộ theo dõi đường cong được đo thủ công vào PC, trình tự được thiết lập nên không cần kiến thức về lập trình và bất kỳ ai cũng có thể dễ dàng thiết lập.

Đo tự động (dòng rò, điện áp bão hòa, VF, Vth, v.v.)

Cửa sổ kết quả đo

Chức năng so sánh dạng sóng

Bạn có thể so sánh một số lượng lớn dạng sóng đã được lưu sau khi đo, chẳng hạn như biến thể phát triển và phân tích lỗi. Ngoài ra, bạn cũng có thể đánh giá chất lượng bằng cách so sánh dạng sóng.

So sánh và đánh giá dạng sóng

Bạn có thể đánh giá chất lượng bằng cách so sánh dạng sóng với dữ liệu tham chiếu.

Hiển thị dạng sóng

Các tệp CSV và các dạng sóng được gọi lại theo dõi đường cong đã thu được trước đây và các dạng sóng hiện đang thu được có thể được hiển thị và so sánh đồng thời trên cùng một biểu đồ với tối đa 10 dạng sóng.

Chức năng thay đổi kích thước

Lưu trục điện áp dạng sóng được hiển thị vào tệp CSV ở bất kỳ khoảng thời gian nào. Khi kết quả đo được hiển thị dưới dạng bảng, các trục điện áp có thể được căn chỉnh.

Hàm con trỏ

Hiển thị các giá trị của dạng sóng được hiển thị trong danh sách. Ngoài ra, các giá trị được hiển thị bằng phép nội suy cho các điểm khác với điểm lấy mẫu.

Bình luận

Bạn có thể xem, chỉnh sửa và di chuyển nhận xét trên từng dạng sóng.

Lưu hình ảnh đồ thị

Bạn có thể lưu bất kỳ sự kết hợp nào của biểu đồ, danh sách tệp và giá trị con trỏ vào tệp hình ảnh.
(Định dạng hình ảnh: PNG/BMP/JPG/TIFF)

Hiển thị biểu đồ đầy màu sắc

— Các mục có thể cài đặt —
Tiêu đề biểu đồ, màu nền vùng vẽ, màu con trỏ, Dấu chấm dòng (chỉ dòng, chỉ dấu chấm, đường và dấu chấm) Trục X, trục Y: tiêu đề trục, lựa chọn dữ liệu (Ic/Vce/Vbe), tỷ lệ (Log/Linear ) (Chỉ trục Y), khoảng chia tỷ lệ (Tự động, Bước 1-2-5), tỷ lệ tối thiểu, tối đa, lưới (màu hiển thị, ẩn)

Tự động đo đặc tính truyền động

Bạn có thể tự động đo các đặc tính truyền bằng thiết bị theo dõi đường cong.

Lưu đường cong đặc tính vào tập tin

Các đặc điểm đo được lưu trong tệp CSV và biểu đồ được lưu dưới dạng dữ liệu hình ảnh trong tệp.
*Định dạng hình ảnh: PNG/BMP/JPG/TIFF

Hàm con trỏ

Hiển thị con trỏ trên trục X và Y. Các giá trị được hiển thị bằng cách nội suy giữa các điểm dữ liệu đo.

Tùy chỉnh vùng đồ thị

Bạn có thể tùy chỉnh tiêu đề biểu đồ, nhãn trục, màu nền, phạm vi trục, v.v.

Cài đặt lưu và đọc

Bạn có thể lưu cài đặt đo đặc tính và cài đặt tùy chỉnh của vùng biểu đồ vào một tệp và gọi chúng.

Kiểm tra thiết bị

Nhiều thử nghiệm và hồ sơ thiết bị có thể được thực hiện một cách đáng tin cậy trong thời gian ngắn.

Tự động thực hiện nhiều mục đo lường.

Người vận hành có thể lặp lại phép đo trong cùng điều kiện bằng cách thay thế thiết bị, thay dây dẫn hoặc nhập tên mẫu nếu cần (với chức năng tăng tên mẫu tự động) theo thông tin trong cửa sổ bật lên.

Kết quả đánh giá được hiển thị cho mỗi phép đo và dữ liệu hình ảnh và dạng sóng sẽ được lưu tự động.

1. Nhập tên mẫu để đặt vào vật cố định thử nghiệm

2. Màn hình máy tính

3. Tạm dừng và hướng dẫn công việc bật lên theo kết quả đánh giá

Tạm dừng và hướng dẫn công việc bật lên theo mục đo

Sau khi đo xong, tệp LOG có thể được xuất sang định dạng CSV hoặc Excel.

Hình ảnh và dữ liệu dạng sóng được lưu tự động trong quá trình đo.

Nhật ký kiểm tra căng thẳng được lưu vào một tệp riêng biệt.

Bạn cũng có thể chọn kết quả đo từ màn hình hiển thị nhật ký và chạy lại phép đo.

Đo lường mô-đun

Hệ thống máy quét được điều khiển đồng thời với máy dò đường cong. Bạn cũng có thể điều khiển việc mở/ngắn mạch và chuyển mạch HV/HC của từng cổng phần tử, thực hiện phép đo hoàn toàn tự động đối với một mô-đun mà không cần tháo thanh cái. Sau khi thiết lập một phần tử, có thể dễ dàng tạo cài đặt của CS-810 bằng cách sao chép số lượng phần tử.

Cổng của phần tử không đo được có thể bị đoản mạch ở bộ phát.(CS-707)

Lưu đường cong đặc tính vào tập tin

Các đặc điểm đo được lưu trong tệp CSV và biểu đồ được lưu dưới dạng dữ liệu hình ảnh trong tệp.

*Định dạng hình ảnh: PNG/BMP/JPG/TIFF

Hàm con trỏ

Hiển thị con trỏ trên trục X và Y. Các giá trị được hiển thị bằng cách nội suy giữa các điểm dữ liệu đo.

Tùy chỉnh vùng đồ thị

Bạn có thể tùy chỉnh tiêu đề biểu đồ, nhãn trục, màu nền, phạm vi trục, v.v.

Cài đặt lưu và đọc

Bạn có thể lưu cài đặt đo đặc tính và cài đặt tùy chỉnh của vùng biểu đồ vào một tệp và gọi chúng.

Đặc tính nhiệt độ của chất bán dẫn

CS-810 cũng đồng thời điều khiển tấm nóng. Việc đo các thông số tốn thời gian cho từng nhiệt độ cũng có thể được thực hiện hoàn toàn tự động.

Bài kiểm tra về áp lực

Các thông số khác nhau có thể được đưa vào thử nghiệm căng thẳng

• Có thể kiểm tra độ tin cậy lâu dài.
• Dòng điện và điện áp luôn được theo dõi tự động bởi phía theo dõi đường cong và các thay đổi về dòng điện và điện áp được ghi lại.
• Các thông số khác nhau có thể được đo tự động trong và trước và sau khi kiểm tra sức chịu đựng.
• Đặt giới hạn dưới và giới hạn trên cho cả dòng điện và điện áp, đồng thời dừng ứng dụng khi vượt quá giới hạn.

Giữ điện áp hoặc dòng điện không đổi (10 giây đến 1.000 giờ)

Đo Ic và Vce (khoảng thời gian: 10 giây đến 2 giờ)

Kiểm tra thiết bị rời rạc

Kết nối để đo nhiều thiết bị chỉ bằng một cú nhấp chuột

Các yếu tố tương tự có thể được đo tuần tự. Hệ thống máy quét dòng CS-700 có 10CH. Đo hoàn toàn tự động 10 yếu tố, chẳng hạn như đặc tính nhiệt độ tốn thời gian. Việc cài đặt phần mềm điều khiển CS-810 cũng được hoàn thành khi sao chép một phần tử.

Phản hồi với phép đo wafer

Đo thiết bị trên wafer bằng khớp nối với hệ thống đầu dò. Cáp thăm dò CS-306/308

Cáp để kết nối đầu dò với thiết bị đánh dấu đường cong (được trang bị đầu nối khóa liên động)

Option

CS-301 Test fixture S Standard with CS-3100 main unit
CS-302 Test fixture M CS-3200 CS-3300 Standard with each main unit
CS-303 Test fixture M CS-5100 / CS-5200 / CS-5300 Standard with each main unit
CS-304 Test fixture M Standard with CS-5400 main unit
CS-305 Test fixture L Signal light, thermo switch, cooling fan, equipped with LED light, interlock
CS-307 Test fixture For CS-3000/CS-5000 (excluding CS-5400) CS-307H Test fixture For CS-5400
CS-306 Prober cable For CS-3000/CS-5000 (excluding CS-5400)
CS-308 Prober cable For CS-5400
PA-3020/3040/4030 Hot plate Non-isolated type
CS-310 Test fixture for thermal streamer
CS-521 Adapter for thermal streamer Supported package: TO (CS-501A heat-resistant support) CS-522 Adapter for thermal streamer Supported package:TO-263-3 (D2PAK) (CS-503 heat resistant) CS-523 Adapter for thermal streamer Supported package: TO-252-3 (CS-504 heat-resistant support)
IE-1310 CS setup controller Ideal for production lines because the settings can be switched without any menu operation on the main unit.

Tùy chọn bộ điều hợp thử nghiệm

CS-500 Test adapter (1 standard with main unit)
Heat resistant TO socket 200℃, 350A(500μs)
For TSSOP14 *Test fixture CS-301 cannot be used
CS-501A TO type test adapter This is a socket suitable for TO type packages (3 terminals). It can be used with lead spacing from 1.52mm to 4.57mm
CS-502 AXIAL type adapter 1kV / 1A MAX
CS-503 TO-263-3 (D2APK) type adapter
CS-504 TO-252-3 type adapter
CS-505 TO-263-7 type adapter
CS-506 TO-252-5 type adapter
CS-507 SC-70-3 (SOT-323-3) type adapter
CS-508 SMD tip-type adapter
CS-509 SC-59A (SOT-23-3) type adapter
CS-510 SC-62 (SOT-89) type adapter

CS-700 Series options

CS-701 Mô-đun điều khiển chuyển mạch Nó là bộ phận không thể thiếu, điều khiển chung từng bộ phận từ phần mềm đo thông số bán dẫn CS-810 bằng cách kết nối nó với PC bằng Ethernet. Một đơn vị có thể kiểm soát lên đến 8 đơn vị. Bằng cách chỉ định một địa chỉ IP, cũng có thể hoạt động song song bằng cách sử dụng nhiều đơn vị (tối đa 10 đơn vị).
CS-702 LV relay unit 300V/7.5A/30A(Pulse) 10CH
CS-703 HV relay unit 5kV/0.5A 10CH
CS-704 HC relay unit 2kV/7.5A/1,500A(Pulse) 10CH
CS-705 HV/HC switch unit With 5kV/1,000A (Pulse) HV/HC switching (manual) function for CS-3200/3300/5200/5300
CS-706 Extension unit If you wish to use 5kV/1,000A (Pulse) CS-5400, you will need to modify it
CS-707 Cổng/đơn vị ngắn Có thể rút ngắn khoảng G-E hoặc C-G của các phần tử không được đo trong quá trình đo mô-đun 6 trong 1. Phía đánh dấu đường cong: 300V/7.5A/15A (Pulse) Phía thiết bị: 5kV/7.5A/15A(Pulse) 10CH
CS-708 HV-HC relay unit 5kV/7.5A/1,500A(Pulse) 2CH
CS-709 HV-HC relay unit 5kV/7.5A/1,500A(Pulse) 4CH
CS-710 HV/HC switch unit With 5kV/1,500A (Pulse) HV/HC switching (manual) function for CS-5400

Option

CS-001 (red 10 pcs) Small crocodile clip This is a small crocodile clip that can be attached to a wire set.
CS-002 (black 10 pcs) Small crocodile clip This is a small crocodile clip that can be attached to a wire set.
CS-003 High voltage wire red 5 pcs set
CS-004 Wire black 5 pcs set
CS-005 Standard lead set This is a lead set that comes as a standard accessory with the main unit.
CS-006 Cables for high current 20cm x 2 sets Standard accessory with the CS-5400 main unit
CS-007 Cables for high current 30cm x 2 sets Standard accessory with the CS-10400 or CS-10800 main unit